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椭圆测厚仪

产品时间:2019-08-05

简要描述:

椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号:HAD-SGC-1A

技术指标:





编号


名称


参数




1


测量范围


1nm-300nm




2


测量最小值


≤1nm




3


入射角


30°~90°误差≤0.1°




4


偏振器方位角读数范围


0°~180°




5


度盘刻度


每格2

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椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号:HAD-SGC-1A

技术指标:

 

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量最小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°~180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标最小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg

椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号:HAD-SGC-1A

技术指标:

 

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量最小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°~180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标最小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg

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