本设备采用四探针法专用于金属薄膜方块电阻,HD-KDB-2B 测试仪严格参照国际标准
SEMI MF 374-0307 对设备的要求研制,运用了*半导体薄层测量技术,无需特别制
样,可测不规则的金属薄膜。
技术指标:方块电阻测量范围(3 位有效数字):0.00001-0.3Ω/□。
测量电流分两档:100mA 和 1000mA。
最小分辨率:0.00001Ω/□。
试样尺寸:直径大于 32mm。
试样厚度:t≤5μm(约)。
探针间距:1.59mm。
成套设备包含:
HD-KDB-2B 主机 一台
HD-KDJ-1A 手动测试架 一台
HD-KDT-5 红宝石四探针头 一个
电源线 一根
四探针头连接线 一根
选购件:
微控制器及配套测试系统 一套