热式气体质量流量控制器

可以任意角度安装

• 良好的线性——多段线性补偿

• 快速的响应

• 电磁阀使用寿命≥100万次

• 对零点漂移有效的抑制

• 化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口

• 良好的选择性

  编号	项目	S48 28/HMT
  1	流量规格	(100,150,200)L/min
  2	调节阀类型	电磁调节阀
  3	调节阀静止状态	常闭
  4	安装角度	任意
  5	流量控制范围	5%～100%
  6	流量测量范围	0～100%
  7	响应时间	2s（T98，设定值的±2% F.S.）
  8	工作环境温度	5℃～50℃
  9	精度保证温度	15℃～35℃
  10	精度	±1.0%F.S.
  11	线性精度	±0.5%F.S.
  12	重复性	±0.2%F.S.
  13	工作压差	（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa
  14	耐压	3MPa
  15	泄漏率	1×10-8 Pa•m3/s （He）
  16	接触气体材料	316L,PTFE,Viton氟橡胶
  17	管路接头	Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″
  18	供电电源	±15VDC(±5%) +15V，＜100mA；-15V，＜200mA	+24VDC(宽电压+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供电时)
  19	设定信号	(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
  20	流量输出信号	(0～5)VDC 负载能力≤3mA
  21	电气接头	D-SUB15,D-SUB9
  22	重量(kg)	2.8

  S48 28/HMT 安装尺寸图：
  

  

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